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Hochpräziser Linear-Schwingspulenmotor für die Mikrobewegungssteuerung in der Halbleiterindustrie
| Herkunftsort | Porzellan, Suzhou |
|---|---|
| Markenname | SUPT MOTION |
| Zertifizierung | ISO9001,CE,3C |
| Modellnummer | VCAB-Reihe |
| Min Bestellmenge | 1Stk |
| Preis | $110-$160 |
| Verpackung Informationen | Individuelle Verpackungen usw. |
| Lieferzeit | 1-5 Stück, 5 Tage. > 20 Stück, zu verhandeln |
| Zahlungsbedingungen | T/T |
| Versorgungsmaterial-Fähigkeit | ausgehandelt werden |
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xProduktdetails
| Garantie | 3 Monate-1 Jahr | Produktmodell | VCAB0262-0112-00A |
|---|---|---|---|
| Gewicht (g) | 285 | Höchstkraft (N) | 262 |
| Gesamtlauf (mm) | 11.2 | Maximalspannung (V) | 35.1 |
| Anwendung | Automatisches Produkt | Positionierungsgenauigkeit | Hoch |
| Produkttyp | linearer Sprachspulenmotor | Kommutierung | Bürste |
| Kontinuierliche Kraft (N) | 111N | Typ | Kompakt |
| Hervorheben | mit einer Leistung von mehr als 100 W,Halbleiter-Mikro-Bewegungsmotor,mit einer Leistung von mehr als 10 W |
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Produkt-Beschreibung
Produktbeschreibung:
In Halbleiterherstellungsprozessen wie Waferbearbeitung, Lithografie, Inspektion und Verpackung erfordert die Mikropositionierungskontrolle extrem hohe Genauigkeit, schnelle Reaktion und Langzeitstabilität. Lineare Schwingspulmotoren, die sich durch Direktantrieb und hervorragende dynamische Leistung auszeichnen, sind zu einer idealen Aktuatorlösung für die Mikroverschiebungskontrolle in Halbleiteranlagen geworden.
Lineare Schwingspulmotoren erzeugen den Schub direkt durch elektromagnetische Kraft, was eine reibungslose, spielfreie lineare Bewegung mit einer Auflösung im Mikrometer- oder sogar Nanometerbereich ermöglicht. Im Vergleich zu herkömmlichen Spindel- oder servogetriebenen Mechanismen bieten lineare Schwingspulmotoren eine überlegene Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit innerhalb kurzer Hubbereiche. Sie eignen sich besonders gut für Waferausrichtung, optische Fokussierung, Sondenkontaktsteuerung und Präzisionspositioniertische.
In Hochgeschwindigkeits-Scanning- und dynamischen Kompensationsanwendungen liefern lineare Schwingspulmotoren eine hohe Beschleunigung und ein hohes Frequenzverhalten, wodurch eine präzise Verfolgung von Steuerbefehlen und eine effektive Kompensation von Systemfehlern und Umwelteinflüssen ermöglicht wird. Ihre sanfte, vibrationsarme Bewegung trägt dazu bei, Prozessstörungen in der Mikrostrukturherstellung zu minimieren und eine stabile Prozessleistung zu gewährleisten.
Merkmale:
- Submikron- oder Nanometer-Auflösung
- Dynamische Reaktion mit hoher Geschwindigkeit und hoher Bandbreite
- Außergewöhnliche Wiederholbarkeit und Langzeitstabilität
- Nullspiel, geringe Vibrationen und partikelfreie Bewegung
- Kompatibilität mit Reinraumumgebungen der ISO 4–5-Klasse
- Keine Spindeln, Zahnräder oder Spiel
- Keine Hysterese in der Verschiebungsantwort
- Hohe Steuerbandbreite für geschlossene Positions-, Geschwindigkeits- und Kraftregelung
- Extrem geringe Vibrationen und akustische Geräusche
Produktparameter:
| Produktmodell | Spitzenkraft (N) |
Dauerkraft bei 25℃(N) |
Gesamthub (mm) |
Max. Spannung (V) |
Gegen-EMK-Konstante (V/m/s) |
Gewicht der Spule (g) |
Stator-Durchmesser | Gewinde am Wellenende (mm) |
| VCAB0005-0039-00A | 5 | 1.5 | 3 | 5.4 | 0.9 | 23 | 29.5 | M2(Außen) |
| VCAB0005-0050-00A | 5 | 2.2 | 3.9 | 14.5 | 3.1 | 27 | 31.5 | M2.5(Außen) |
| VCAB0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | M3(Außen) |
| VCAB0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | M3(Außen) |
| VCAB0015-0127-00A | 15 | 4.9 | 12.7 | 21.5 | 4.1 | 12.5 | 30.5 | Welle ∮4.8 |
| VCAB0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | M3(Außen) |
| VCAB0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | M3(Innen) |
| VCAB0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | M3(Innen) |
| VCAB0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | M3(Außen) |
| VCAB0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | M3(Innen) |
| VCAB0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | M3(Innen) |
| VCAB0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | M3(Innen) |
| VCAB0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | M3(Innen) |
| VCAB0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | M3(Außen) |
| VCAB0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | M3(Innen) |
| VCAB0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | M3(Innen) |
| VCAB0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | M3(Innen) |
| VCAB0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | Welle ∮10 |
| VCAB0088-0191-00A | 88.5 | 23.2 | 19.1 | 29.9 | 8 | 162 | 50.8 | M3(Innen) |
| VCAB0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | M3(Innen) |
| VCAB0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | Welle ∮8 |
| VCAB0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | Welle ∮10 |
| VCAB0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | Welle ∮8 |
| VCAB0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | Welle ∮10 |
| VCAB0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | Welle ∮10 |
| VCAB0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | Welle ∮10 |
| VCAB0445-0300-00A | 445 | 185 | 30 | 33 | 35 | 920 | 76.2 | Welle ∮10 |
Anwendungen:
- Waferausrichtung und Positioniertische
- Lithografie-Fokus und Höhenkompensation
- Sondenstation Z-Achse und Kontaktsteuerung
- AOI / AVI Hochgeschwindigkeits-Scanning-Aktuatoren
- Die-Bonding und Mikro-Montage von Verpackungen
- Präzisionsdosier- und Mikrodosiersysteme
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