Lineare Stimmspule-Aktor mit hoher Ansprechleistung für die Inspektion von Halbleiterwafern

Lineare Sprachspulen-Aktoren eignen sich besonders für Präzisionsprozesse wie Ausrichtung, Sortierung und Waferbehandlung in Halbleiter-Produktionslinien.Ihre Null-Rückwirkung und hohe Wiederholgenauigkeit sorgen für hochgenaue Mikro-VerschiebungsvorgängeDie reibungslose Bewegungsstruktur verbessert die dynamische Reaktionsfähigkeit weiter und macht sie zu idealen Aktoren für präzise industrielle Steuerungssysteme.

SUPT ′s Wellen-montierte lineare Stimmspule, Modell VCAB0044-0075-00A,verfügt über eine integrierte Bewegungswelle in Kombination mit langlebigen linearen Lagerstücken, um eine außergewöhnlich glatte Bewegung auch unter hohen dynamischen Belastungen zu gewährleistenDie interne Konfiguration umfaßt einen hochenergetischen Permanentmagneten und eine leichte bewegliche Spirale.Erreichung einer minimalen Trägheit und schnelle Veränderungen der Ausgangskraft, ein wesentliches Merkmal von Hochleistungs-Direktantriebsantrieben.

Im Gegensatz zu herkömmlichen schraubbasierten oder getriebenen Systemen eliminiert die VCAB-Serie alle mechanischen Getriebelemente.eine echte Null-Rückwirkung und eine Verringerung von Positionsfehlern durch Verschleiß oder ReibungMit einer Reaktionsgeschwindigkeit auf Millisekundenniveau zeichnet sich der Motor in Anwendungen aus, die häufige Geschwindigkeitsanpassungen erfordern, wie z. B. Hochgeschwindigkeitssortierung, Ausrichtung von Bildverarbeitung,und Präzisionsbewegungssteuerungsstufen. Wenn es mit geschlossener Schleife integriert ist, kann es eine ausgezeichnete Positionierungsgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit erzielen.