High Frequency Miniatur Ultra Thin Linear Motor zur Steuerung von Wafern
| Herkunftsort | Jiangsu, China |
|---|---|
| Markenname | SUPT |
| Zertifizierung | 3C, CE, ISO9001 |
| Modellnummer | Eine Reihe |
| Min Bestellmenge | ≥ 1 |
| Preis | $150.00/pieces >=1 pieces |
| Verpackung Informationen | in Karton und nach Kundenwünschen<br/>Kleiner Linearmotor |
| Lieferzeit | 1-5 Stück, 5 Tage. > 20 Stück, zu verhandeln |
| Zahlungsbedingungen | T/T |
| Versorgungsmaterial-Fähigkeit | ausgehandelt werden |
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x| Garantie | 3 Monate-1 Jahr | Verwendung | BOOT, Auto, elektrisches Fahrrad, UAV, Roboter, medizinischer Ventilator, Mikroskop, Endoscope, Opti |
|---|---|---|---|
| Typ | Mikromotor | Drehmoment | Anträge |
| Konstruktion | Permanenter Magnet | Merkmal schützen | Total eingeschlossen |
| Geschwindigkeit (U / min) | Hohe Geschwindigkeit | Dauerstrom ((A) | Aktuell |
| Effizienz | IE 1 | Produktname | Linear-Verstellgerät |
| Anwendung | Automatisches Produkt | Motortyp | Dauerhafter Motor |
| Schlüsselwörter | Kleiner Linearmotor | Name | Motor der A-Serie |
| Nennspannung | 1.2-12V | Größe | 30 mm |
| Farbe | Silber | Artikel | Mini Electric Motors |
| Verpackung | in Karton | Hafen | Shanghai Hafen |
| Hervorheben | mit einer Leistung von mehr als 50 W,Steuermotor für ultradünne Wafer,mit einer Leistung von mehr als 20 W |
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Produktbeschreibung:
Der Anker des Linearmotors besteht ausschließlich aus Spulen ohne Magnete, wodurch die magnetische Anziehung zwischen beweglichen und stationären Teilen entfällt. Dieses Design verhindert Rastmomente und sorgt für einen reibungslosen Betrieb. Seine leichte Konstruktion ermöglicht hohe Geschwindigkeiten und hohe Beschleunigungen. Die Schubcharakteristik ist gleichmäßig, wodurch in Kombination mit linearen Encodern eine hohe Präzision erreicht wird. Der Hub kann beliebig verlängert werden, der Betrieb ist geräuschlos und wartungsfrei. Merkmale sind importiertes, bei hoher Temperatur und hohem Druck vakuumgefülltes Epoxidharz sowie hochflexible Stromkabel. Weit verbreitet in Halbleiterfertigungsanlagen, Präzisionsprüfgeräten für die Flachbildschirmindustrie, Laserschneid-/Markiermaschinen und Bildverarbeitungssystemen. Das modulare Design ermöglicht eine kundenspezifische Bearbeitung.
Die Linearmotortechnologie ist der Kerntreiber für die Weiterentwicklung von Halbleiterfertigungsanlagen und dient als wesentlicher Direktantrieb zur Erzielung einer präzisen Waferpositionierung und Hochgeschwindigkeitsbewegung.
Durch die Nutzung seiner hohen Präzision, Geschwindigkeit, Beschleunigung und der gleichmäßigen Bewegungseigenschaften ermöglicht der Linearmotor eine präzise Waferentnahme aus Kassetten innerhalb von Wafertransfersystemen, eine hochgenaue Platzierung auf Bearbeitungsstationen und die schnelle Rückführung der Wafer in die Kassetten nach der Bearbeitung.
Innerhalb von Präzisionspositionierungsplattformen unterstützen Linearmotoren die Wafer und positionieren sie präzise. Waferträger müssen innerhalb der XY-Ebene Nanometer-Schritt- und Scanbewegungen ausführen, um die Belichtung abzuschließen. In Mikroskopen und Defekterkennungsgeräten müssen die Wafer ebenfalls präzise unter Inspektionssonden bewegt werden.
Produktparameter:
| Lineare Motor Leistungsparameter | |||||||
| A Serie--MLCA(Dynamisch) MLFA(Stator) | |||||||
| Modell/Par | MLCA-0020-075-00 | MLCA-0040-135-00 | MLCA-0080-255-00 | ||||
| Spitzenkraft(Fp) | N | 60 | 120 | 240 | |||
| Spitzenstrom(lp) | Ampere | 4.8 | 4.2 | 4.2 | |||
| Dauerleistung(Fc) | N | 20 | 40 | 80 | |||
| Dauerstrom(lc) | Ampere | 1.6 | 1.4 | 1.4 | |||
| Aktuatorkonstanten(DC Motor Umrechnung/3p)(Ka) | N/W | 5.65 | 7.9 | 11.2 | |||
| Konstante Schubkraft(L-L)(Kf) | N/Ampere | 15.3 | 30.4 | 60.3 | |||
| Gegen-EMK Konstante(L-L)(Kb) | V/m/Sek. | 8.8 | 17.6 | 34.8 | |||
| Elektrische Konstante(Te) | ms | 0.3 | 0.3 | 0.3 | |||
| Widerstand(L-L)(R) | @25℃Ω | 4.8 | 9.4 | 19.2 | |||
| Induktivität(L-L)(l) | mh | 1.51 | 3 | 6 | |||
| Wärmeübertragungskoeffizient(Rth) | ℃/W | *3.9 | *1.9 | **1.3 | |||
| Spulen maximale Temperatur(Tmax) | ℃ | 120 | 120 | 120 | |||
| Magnet Pol Teilung(2T) | mm | 30 | 30 | 30 | |||
| Mover Gewicht | Kg | 0.24 | 0.42 | 0.82 | |||
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Linearmotoren im Vergleich zu herkömmlichen Rotationsmotoren:
| Eigenschaften | Linearmotor | Herkömmliche Übertragungsmethoden (Schraube/Riemen) | ||||
| Hohe Präzision | Direktantrieb ohne Zwischenübertragungskomponenten eliminiert Spiel und Spielfehler und ermöglicht eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich. | Spiel, elastische Verformung und Reibung sind vorhanden, was die Präzision typischerweise auf den Mikrometerbereich begrenzt. | ||||
| Hohe Geschwindigkeit und Beschleunigung |
Erreicht Geschwindigkeiten von mehreren Metern pro Sekunde und Beschleunigungen von über 10G, was den Durchsatz der Geräte erheblich steigert. Begrenzt durch die Rotationsgeschwindigkeit und Trägheit der Schraube, was zu geringerer Geschwindigkeit und Beschleunigung führt. |
Hohe Laufruhe | ||||
| Gleichmäßige Bewegung ohne Kontakt | Übertragung und minimale Vibrationen. Entscheidend für vibrationsempfindliche Prozesse wie Lithografie. Kontaktreibung innerhalb der Übertragungskette |
kann Vibrationen und Geräusche erzeugen. Hohe Sauberkeit |
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| Schmierfreier Betrieb | eliminiert Fett- oder Verschleiß Partikel und erfüllt die Ultra- hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterfertigung. Schmierung ist erforderlich, was ein |
Kontaminationsrisiko darstellt. Hohe Zuverlässigkeit |
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| und lange Lebensdauer Primär- und bewegliche Teile (Magnet- Schiene und Spule) haben keinen mechanischen |
Kontakt, was zu minimalem Verschleiß führt und eine längere Lebensdauer. Mehrere mechanische Kontaktpunkte sind Verschleiß unterworfen, was eine regelmäßige |
Wartung erfordert. Vakuumkompatibilität Leicht für Vakuum- |
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| kompatible Modelle konzipiert, was es ideal | für Vakuumprozessanlagen macht. Schmierung und Wärmeableitung stellen erhebliche Herausforderungen in Vakuumumgebungen dar. |
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