High Speed Brushless Small Linear Servo Motor Precision Motion Stages For Semiconductor Equipment

Vcm-Schwingspulenmotor
October 29, 2025
Category Connection: linearer Servomotor
Brief: Discover the High Speed Brushless Small Linear Servo Motor, designed for precision motion stages in semiconductor equipment. This Permanent Magnet Linear Motor ensures high-speed, smooth motion with direct drive technology, eliminating mechanical play and backlash. Ideal for semiconductor manufacturing, flat panel display testing, and medical equipment.
Related Product Features:
  • Direktantriebssystem eliminiert mechanisches Spiel, Umkehrspiel und Reibung für eine sanftere Bewegung.
  • Minimierter Rastmoment sorgt für gleichmäßige und ruckfreie Bewegung.
  • Präzise Positionskontrolle für genaue Bewegung ohne Überschwingen.
  • High acceleration and deceleration capabilities for rapid speed transitions.
  • Gleichmäßige Krafterzeugung reduziert Ruck und Vibrationen während des Betriebs.
  • Geringe Rotorträgheit ermöglicht schnelle Änderungen der Bewegungsrichtung und -geschwindigkeit.
  • Regelung im geschlossenen Regelkreis mit Echtzeit-Rückmeldung zur präzisen Bahnbegradigung.
  • Linear servo control maintains intended path without deviations.
FAQs:
  • Welche Industrien profitieren von diesem Linearservomotor?
    Dieser Motor ist ideal für Halbleiterfertigungsanlagen, Flachbildschirmtests, medizinische Geräte und Logistiksysteme.
  • Wie erreicht der Motor eine gleichmäßige Bewegung?
    Das Direktantriebsdesign eliminiert mechanische Komponenten wie Zahnräder, wodurch Reibung und Spiel reduziert werden, während minimiertes Rastmoment eine gleichmäßige Bewegung gewährleistet.
  • Was sind die wichtigsten Leistungsparameter dieses Motors?
    Zu den wichtigsten Parametern gehören die Spitzenkraft (60-240 N), die Dauerleistung (20-80 N) und die schnelle Beschleunigung aufgrund der geringen Trägheit und der Regelung im geschlossenen Regelkreis.