Kurzschlag-Stimme-Spule-Motor-Module geschlossene Schleife Servo lineare Bewegung Bühne für CNC-Maschine

Die Zylinderform des VCM (Voice Coil Motor) verwendet eine Rohrstruktur, in der seine Grundkomponenten untergebracht sind.beide entlang der Mittelachse des Motors ausgerichtetDie Spirale wird in der Regel um einen hohlen Zylinder gewickelt, während der Permanentmagnet die Spirale umgibt.die Genauigkeit und Reaktionsfähigkeit des VCM-Zylinder-Sprachspulenmotors ist entscheidend für die Erreichung der strengen Anforderungen des HalbleiterherstellungsprozessesEs ermöglicht eine präzise Manipulation der Wafer und sorgt für eine gleichbleibende und hochwertige Produktion von Halbleitergeräten.
Manipulation in Halbleiteranwendungen:
Waferbehandlung: Bei der Herstellung von Halbleitern müssen Wafer für eine Vielzahl von Prozessen genau positioniert werden.Der VCM-Zylindermotor ist in das Wafer-Handling-System integriert, um eine präzise Ausrichtung zu ermöglichen..
Ausrichtung: Wenn eine Wafer für einen bestimmten Prozess positioniert werden muss, sendet das Steuerungssystem ein Signal an die VCM. Der Strom fließt durch eine Spule und erzeugt ein Magnetfeld.Die Wechselwirkung zwischen diesem Magnetfeld und den Permanentmagneten erzeugt eine Kraft, die die Spirale und die angeschlossene Last (Wafer) in die gewünschte Position bewegt.
Rückkopplungskontrolle: Um die Genauigkeit zu gewährleisten, wird die Bewegung des VCM durch ein Rückkopplungssystem überwacht.Wenn eine Abweichung von der Zielposition festgestellt wird, passt das Steuerungssystem den durch die Spule fließenden Strom an, um die Position zu korrigieren.
Hohe Genauigkeit: Der VCM-Zylindermotor verwendet einen direkten Antriebsmechanismus, was zu einer hohen Genauigkeit führt. Da es keine Zahnräder oder Gürtel gibt, werden Rückschlag und mechanische Freiheit minimiert.die zu einer präzisen Positionierung führt.
 

Technische Parameter:

Ein-Achsen-Module für Kurztakt-Servo-Anwendungen in geschlossenem Kreislauf mit leichtem Aktorgewicht und schneller Reaktion (bis zu 20 G in Millisekunden).Die Basis verwendet die Präzisionsbearbeitung von Luftfahrt-AluminiumEinfache und zuverlässige Steuerung, keine Rückwärtsbewegung erforderlich, wartungsfreie lange Lebensdauer.Beschleunigung und Schubregelung möglich. Ausgestattet mit geeignetem Encoder und Führungsschiene, kann die Positionsgenauigkeit 0,1-5um erreichen.die Schubanforderungen sind mit geeigneten Treibern und Steuerungen konfiguriert. Die Plattformstruktur kann verarbeitet und angepasst werden. Gemäß unterschiedlichen Anwendungen ist ein geeigneter linearer Führungsmechanismus konfiguriert: verschiedene Arten von hochpräzisen linearen Führungsschienen.

 Technische Indikatoren und Spezifikationen können angepasst werden