Hochbeschleunigungs-VCM-Zylindrischer Stimmspule-Motor zur Manipulation von Halbleitern

VCM Zylindrischer Voice Coil Motor Bürstenloser Miniatur-Linearmotor Hohe Präzision und hohe Beschleunigung

Produktbeschreibung:

Das zylindrische Design des VCM (Voice Coil Motor) zeichnet sich durch eine röhrenförmige Struktur aus, die seine wesentlichen Komponenten beherbergt. Es besteht aus einer Spule und einem Permanentmagneten, die beide entlang der Mittelachse des Motors ausgerichtet sind. Die Spule ist typischerweise um einen hohlen Zylinder gewickelt, während der Permanentmagnet die Spule umgibt.

In Halbleiteranwendungen findet der zylindrische Voice Coil Motor VCM seine Rolle in der Präzisionspositionierung und -manipulation. So läuft der Prozess ab:

1. Strukturübersicht:
Spule: Die Spule ist eine wesentliche Komponente des VCM. Sie besteht aus mehreren Drahtwicklungen und befindet sich typischerweise im Hohlkern des Zylinders.
Permanentmagnet: Der Permanentmagnet umgibt die Spule. Sein Magnetfeld interagiert mit dem durch die Spule fließenden Strom und erzeugt die für die Bewegung erforderlichen Kräfte.
Kern: Einige Konstruktionen enthalten einen Magnetkern innerhalb der Spule, um die Stärke des Magnetfelds zu erhöhen und den Wirkungsgrad zu verbessern.
Zylindergehäuse: Das zylindrische Gehäuse hält die Spule, den Magneten und den Kern an Ort und Stelle und sorgt für strukturelle Integrität.

2. Betrieb in Halbleiteranwendungen:
Wafer-Handling: In der Halbleiterfertigung müssen Wafer für verschiedene Prozesse präzise positioniert werden. Der zylindrische VCM-Motor ist in Wafer-Handling-Systeme integriert, um eine genaue Ausrichtung zu erreichen.
Ausrichtung: Wenn ein Wafer für einen bestimmten Prozess positioniert werden muss, sendet ein Steuerungssystem ein Signal an den VCM. Ein elektrischer Strom fließt durch die Spule und erzeugt ein Magnetfeld. Die Wechselwirkung zwischen diesem Magnetfeld und dem Permanentmagneten führt zu einer Kraft, die die Spule und die angebrachte Last (den Wafer) in die gewünschte Position bewegt.
Rückkopplungsregelung: Um die Genauigkeit zu gewährleisten, wird die Bewegung des VCM durch ein Rückkopplungssystem überwacht. Sensoren messen die Position des Motors und geben diese Informationen an das Steuerungssystem weiter. Wenn eine Abweichung von der Zielposition festgestellt wird, passt das Steuerungssystem den durch die Spule fließenden Strom an, um die Position zu korrigieren.
Hohe Präzision: Der zylindrische VCM-Motor bietet eine hohe Präzision aufgrund seines Direktantriebsmechanismus. Das Fehlen von Zahnrädern oder Riemen minimiert Spiel und mechanisches Spiel, was zu einer genauen Positionierung führt.

In Halbleiteranwendungen sind die Präzision und das Ansprechverhalten des zylindrischen Voice Coil Motors VCM entscheidend, um die strengen Anforderungen der Halbleiterfertigungsprozesse zu erfüllen. Er ermöglicht die genaue Handhabung von Wafern und gewährleistet eine konsistente und qualitativ hochwertige Produktion von Halbleiterbauelementen.

Merkmale:

• Spannungsgesteuerter Motor
• Linearantriebsmotor
• Linearmotor
• Gleichspannung
• Kleine Größe
• Kurzer Hub
• Lange Lebensdauer
• Geringes Gewicht

Technische Parameter:

Anwendungen:

Der Motor wird hauptsächlich in der Medizin, der Halbleitertechnik, der Luftfahrt,
Automobilindustrie und anderen Bereichen eingesetzt, einschließlich Ventilbremsen, kleine Präzisionsersatzmessgeräte, Vibrationsplattformen und aktive Vibrationsreduzierungssysteme und viele andere Aspekte.
Der Markt konzentriert sich hauptsächlich auf die Medizin-, Halbleiter-, Luftfahrt- und Automatisierungsindustrie.

Die Anwendungen der VCAR-Serie umfassen Ventilantriebe, Z-Achsen-Pick-and-Place, kleine, präzise Dosierpumpen und sowohl Vibratoren als auch aktive Schwingungsdämpfungssysteme. Zu den Märkten gehören Medizin, Halbleiter, Luft- und Raumfahrt und Automobil. Dieser Linearantriebsmotor ist spannungsgesteuert und liefert eine Gleichstromquelle.