Hochbeschleunigungs-VCM-Zylindrischer Stimmspule-Motor zur Manipulation von Halbleitern

VCM-Zylindrischer Stimmspule-Motor Bürstenloser Miniatur-Linearmotor mit hoher Präzision und hoher Beschleunigung

Beschreibung des Produkts:

Der VCM (Voice Coil Motor) ist zylindrisch geformt und besteht aus einer Spule und einem Permanentmagnet.beide entlang der Motorachse ausgerichtetDie Spirale wird typischerweise um einen hohlen Zylinder gewoben, während der Permanentmagneten die Spirale umgibt.

In Halbleiteranwendungen spielt der VCM-Zylinder-Sprachspulenmotor eine wichtige Rolle bei der Präzisionspositionierung und Manipulation.

1Übersicht über die Struktur:
Spirale: Die Spirale ist ein wesentlicher Bestandteil des VCM. Sie besteht aus mehreren Wickeln aus Draht und befindet sich typischerweise im hohlen Kern des Zylinders.
Dauermagnet: Der Dauermagnet umgibt die Spirale und wirkt mit dem Strom, der durch die Spirale fließt, und erzeugt die notwendigen Kräfte für die Bewegung.
Kern: Einige Designs enthalten einen Magnetkern in der Spule, um die Stärke des Magnetfeldes zu erhöhen und die Effizienz zu verbessern.
Zylindergehäuse: Das zylindrische Gehäuse hält die Spule, den Magneten und den Kern an Ort und Stelle und sorgt für strukturelle Integrität.

2. Betrieb in Halbleiteranwendungen:
Waferbehandlung: Bei der Halbleiterherstellung müssen Wafer für verschiedene Prozesse präzise positioniert werden.Der VCM-Zylindermotor ist in Wafer-Handling-Systeme integriert, um eine genaue Ausrichtung zu erreichen.
Ausrichtung: Wenn eine Wafer für einen bestimmten Prozess positioniert werden muss, sendet ein Steuerungssystem ein Signal an die VCM. Ein elektrischer Strom fließt durch die Spule und erzeugt ein Magnetfeld.Die Wechselwirkung zwischen diesem Magnetfeld und dem Permanentmagnet führt zu einer Kraft, die die Spirale und die angeschlossene Last (die Wafer) in die gewünschte Position bewegt.
Rückkopplungskontrolle: Um die Genauigkeit zu gewährleisten, wird die Bewegung des VCM durch ein Rückkopplungssystem überwacht.Wenn eine Abweichung von der Zielposition festgestellt wird, passt das Steuerungssystem den durch die Spule fließenden Strom an, um die Position zu korrigieren.
Hohe Präzision: Der VCM-Zylindermotor bietet aufgrund seines direkten Antriebsmechanismus eine hohe Präzision.die zu einer genauen Positionierung führt.

In Halbleiteranwendungen sind die Präzision und Reaktionsfähigkeit des VCM-Zylinder-Sprachspulenmotors entscheidend, um die strengen Anforderungen der Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen.Es ermöglicht die präzise Manipulation von Wafern, um eine einheitliche und qualitativ hochwertige Produktion von Halbleitergeräten zu gewährleisten.

Eigenschaften:

• Spannungsgesteuerter Motor
• Lineare Aktormotor
• Motor mit linearer Bewegung
• Gleichspannung
• Kleine Größe
• Kurzer Schlag
• Langes Leben
• Leichtes Gewicht

Technische Parameter:

Anwendungen:

Der Motor wird hauptsächlich in der medizinischen Halbleiterluftfahrt eingesetzt.
Dies gilt insbesondere für die Bereiche Automobilindustrie und andere Bereiche,einschließlich Ventilbremsen,Vibrationsplatform für kleine Präzisionsmessgeräte und aktives Vibrationsreduktionssystem und viele andere Aspekte.
Der Markt konzentriert sich hauptsächlich auf die medizinische Halbleiterindustrie, die Luftfahrtindustrie und die Automatisierungsindustrie.

Zu den Anwendungen der VCAR-Serien-Aktoren gehören Ventil-Aktoren, Z-Achsen-Pick-and-Place, kleine, präzise positive Bewegungsmesspumpen und sowohl Vibratoren als auch aktive Vibrationsdämpfsysteme.Zu den Märkten gehören Medizinische HalbleiterDieser lineare Aktorenmotor ist spannungsgesteuert und liefert eine Gleichspannungsquelle.