High-Precision Micro Rotary Voice Coil Motor für Waferprüfung und Messung

Herkunftsort Porzellan, Suzhou
Markenname SUPT MOTION
Zertifizierung CE, ISO9001
Modellnummer VARS0042-040-00A
Min Bestellmenge 1Stk
Preis $112-$190
Verpackung Informationen Individuelle Verpackungen usw.
Lieferzeit 1-5 Stück, 5 Tage. > 20 Stück, zu verhandeln
Zahlungsbedingungen T/T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit Zu verhandeln
Produktdetails
Schutzfunktion Total eingeschlossen Anwendung Automatisches Produkt
Stromspannung 3,5V Höchstschub 0,42 Nm
Größe 82*53,6*30,3mm Schlaganfall 40 °
Material Aluminiumlegierung Betätigungsmethode Stimmspule
Garantie 3 Monate-1 Jahr Nenngeschwindigkeit 100 U / min
Gegen-EMF-Konstante (LL) (Kb) 0,12 Gewicht der Spirale (g) 38
Hervorheben

Hochpräzisions-Rotations-Stimmspule-Motor

,

mit einer Leistung von mehr als 50 W und

,

Rotations-Sprachspulenmotor mit Garantie

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Produkt-Beschreibung

Beschreibung des Produkts:

Bei Waferinspektions- und Messgeräten ist der Rotations-Sprachspulenmotor der wichtigste Antriebskomponent für eine präzise Scanning-Inspektion.Nutzung der hohen Bandbreite und der präzisen direkten Antriebe, kann es Inspektionssonden oder optische Linsen antreiben, um hochfrequente, winzige Drehwinkelscans um die Waferoberfläche durchzuführen.In Kombination mit Algorithmusoptimierung durch spezialisierte BewegungssteuerungenDie Konstruktion des Rotations-Sprachspulenmotors ohne mechanische Übertragung eliminiert Rückschlagfehler.Wirksam unterdrückt Vibrationsstörungen, und sorgt für die präzise Erfassung von Nanoskalafehlern bei der Waferfehlerinspektion und dem Scannen von Schaltkreismustern.Er erfüllt auch die Anforderungen der Drehbewegung von Plattformen zur Einstellung von Wafer mit drei Freiheitsgraden, die feine Winkelanpassungen entlang der θx/θy Achsen ermöglicht und eine zuverlässige Unterstützung für die Ausbeutekontrolle in Halbleiterherstellungsprozessen bietet.

Eigenschaften:

Leichtes Gewicht der Aktorspule, kurze Reaktionszeit und hohe Frequenz.

Produkttypen: rotierende Stimmspulvermotoren, oszillierende Stimmspulvermotoren, bogenförmige Stimmspulvermotoren.
Positionierungsgenauigkeit: ±0,08°
Drehmomentbereich: 0,42 N·m
Drehgeschwindigkeit: 100-800 R/min.
 

Produktparameter:

Produktmodell
Spitzendrehmoment
(N-m)
Kontinuierliches Drehmoment
bei 25°C ((N-m)

Gesamtschlag
Grade 

(Grad)

Höchstspannung
(V)
Rückwärts-EMF-Konstante
(V/m/s)
Gewicht der Spirale (g) Länge
(mm)
Breite
(mm)
Größe
(mm)
VARS0008-026-00A 0.08 0.05 26 6.4 0.05 11.7 35 39.8 36.1
VARS0017-090-00A 0.17 0.1 90 11.1 0.1 17.8 70 41.5 39
VARS0022-032-00A 0.22 0.12 32 15.5 0.16 21.5 60 60 36
VARS0042-040-00A 0.42 0.38 40 3.5 0.12 38 82 53.6 30.3
VARS0077-020-00A 0.77 0.63 20 6.7 0.24 66 75 50 30
VARS0084-030-00A 0.84 0.6 30 6.3 0.2 50.4 75 48.9 30.6
VARS0120-020-00A 1.2 0.5 20 8.4 0.67 65 81 73.4 32
VARS0350-060-00A 3.5 1.6 60 26.3 0.4 350 169.6 169.6 63
VARS0706-014-00A 7.1 2.1 14 52.4 1.03 225.5 115 65 54.5
VARS4520-030-00A 45.2 19 30 71.5 4.3 1350 ¥240   78

Anwendung:

Hauptzweck eines Sprachspulenmotors:
1- Halbleiterindustrie: Verkabelung, Schneiden, Bohren, Transportsysteme, Schweißen, Robotik.

2.Ventilbetrieb im Bereich:Typ der Messventile, Druckprüfsysteme, Chemie von PneumatikventilenInjektionssystem.

3.Mikro-Maschinenindustrie:Zuführungssysteme, Mikrobohrungen, Präzisionsstempeln.
4.Vibrationssystem: Schütteltisch, Vibrationsplattform.
5.Medizinischer Bereich: Mikro-Injektionssystem, Atemgeräte, Prüfgeräte.
6.Luftfahrttechnik:Flugsteuerungssystem, Rückkopplungssystem für Piloten.
7.Gewerblicher Einsatz: Computer-Kühlpumpe mit Miniaturkamera Fokussierungssystem.
8.Automatisierungsindustrie: Laserausrüstung,Spender, Prüfgeräte, Textilmaschinen.

High-Precision Micro Rotary Voice Coil Motor für Waferprüfung und Messung 0