Hochpräziser Rotations-Schwingspulenmotor für Halbleiter-Wafer-Inspektionsausrüstung

Herkunftsort Porzellan, Suzhou
Markenname SUPT MOTION
Zertifizierung ISO9001-2000
Modellnummer VARS-Reihe
Min Bestellmenge 1 STÜCK
Preis $102-$210
Verpackung Informationen Karton, der etc. verpackt.
Lieferzeit 1-5 Stück, 5 Tage. > 20 Stück, zu verhandeln
Zahlungsbedingungen T/T
Versorgungsmaterial-Fähigkeit Verhandelbar

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Produktdetails
Gewicht 65G Länge 81mm
Stromspannung 8.4v Produktmodell VARS0120-020-00A
Spitzenkraft 1,2 Nm Totaler Schlaganfall 20 °
Typ Mikromotor Gehäusematerial Aluminium
Bewegungstyp Rotary
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Modell Preis
Vars0022-0032-00b 210 Dollar
Die in Absatz 1 Buchstabe b genannten Angaben sind zu beachten. 175 Dollar.
Die in Absatz 1 Buchstabe b genannten Angaben sind zu beachten. $150
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Modell Preis
Produkt-Beschreibung
Beschreibung des Produkts:
Hochpräzisions-Vakuumstrahlungsbeständiger Rotations-Sprachspulenmotor, speziell für die raue Umgebung der Inspektion von Halbleiterwafern ausgelegt,kann stabil unter einem Vakuum von 10−6 Pa und starker Strahlung arbeitenDer Motor verwendet spezielle strahlungsbeständige Dämmstoffe, die keine organischen Flüchtigen enthalten, um eine Verunreinigung der Waferoberfläche zu vermeiden.Es unterstützt kontinuierliche Drehung in mehreren Winkeln und genaue Winkelpositionierung, zur Anpassung der Ausrichtung von Prüfsonden verwendet.mit einer Breite von mehr als 20 mm,Das Drehmoment ist reibungslos, die Positionierungsgenauigkeit erreicht ±0,08° und die Reaktionsgeschwindigkeit ist schnell, so dass es für die Fehlerkontrolle von Wafern, Dimensionsmessungen,und sonstige Geräte zur Verbesserung der Effizienz der Inspektion und der Datengenauigkeit, unterstützt die Automatisierung von Halbleiterproduktionslinien.
 

 

Eigenschaften:

  • Produktbezeichnung: Rotationsmotor mit Stimmspule
  • Gewicht: 65 g
  • Größe: 81*73,4*32mm
  • Name: Rotationsmotor mit Stimmspule
  • Schlag: 20°
  • Lebensdauer: 10000 h
  • Vakuum: 10-6 Pa
  • Strahlentoleranz: ≥ 105 Gy
  • Positionierungsgenauigkeit: ±0,08°
  • Drehmomentbereich: 1,2 N·m
  • Drehgeschwindigkeit: 100-800 R/min.
  • Schutzklasse: IP67 (vakuumdicht)
  • Besondere Eigenschaft: Krümmter Stimmspule-Motor, rotierender VCM, rotierender Stimmspule-Motor

Technische Parameter:

Parameter Einzelheiten
Typ Rotations-Stimmspule-Motor (rotationäres VCM, rotationäres Stimmspule-Aktor)
Gewährleistung 1 Jahr
Schlaganfall 20°
Spitzendrehmoment 1.2N-m
Geräusche Niedrig
Größe 81*73,4*32 mm
Länge 81 mm
Geschwindigkeit Hoch
Gewicht 65 g
Spannung 8.4V
Produktmodell
Spitzendrehmoment
(N-m)
Kontinuierliches Drehmoment
bei 25°C ((N-m)
Gesamtschlag
Grade
(Abschluss)
Höchstspannung
(V)
Rückwärts-EMF-Konstante
(V/m/s)
Gewicht der Spirale (g) Länge
(mm)
Breite
(mm)
Größe
(mm)
VARS0008-026-00A 0.08 0.05 26 6.4 0.05 11.7 35 39.8 36.1
VARS0017-090-00A 0.17 0.1 90 11.1 0.1 17.8 70 41.5 39
VARS0022-032-00A 0.22 0.12 32 15.5 0.16 21.5 60 60 36
VARS0042-040-00A 0.42 0.38 40 3.5 0.12 38 82 53.6 30.3
VARS0077-020-00A 0.77 0.63 20 6.7 0.24 66 75 50 30
VARS0084-030-00A 0.84 0.6 30 6.3 0.2 50.4 75 48.9 30.6
VARS0120-020-00A 1.2 0.5 20 8.4 0.67 65 81 73.4 32
VARS0350-060-00A 3.5 1.6 60 26.3 0.4 350 169.6 169.6 63
VARS0706-014-00A 7.1 2.1 14 52.4 1.03 225.5 115 65 54.5
VARS4520-030-00A 45.2 19 30 71.5 4.3 1350 ¥240   78

Anwendungen:

Bei der Inspektion von Waferfehlern und bei der Verpackung von Chips werden durch Dreh- und Sprachspulenmotoren mit einer Winkelgenauigkeit von ± 0,1° Inspektionssonden mit hoher Frequenz betrieben.kleine Amplituden-Rotationsscans über die WaferoberflächeDas Design ohne mechanische Übertragungsstrukturen eliminiert Rückschlagfehler und kombiniert mit einer Reaktionsgeschwindigkeit von Millisekunden kann es die feinen Details der Chip-Schaltkreise präzise erfassen.Erzielung der Fehlererkennung auf Nanometerebene und Unterstützung der Ausbeutekontrolle in der Halbleiterherstellung.

Hochpräziser Rotations-Schwingspulenmotor für Halbleiter-Wafer-Inspektionsausrüstung 0